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计算机光刻与版图优化
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计算光刻与版图优化
本书由中国科学院微电子研究所计算光刻科研团队撰写,系统、全面地介绍了集成电路制造中的计算光刻与版图优化的理论和关键技术
开 本:16开
纸 张:胶版纸
包 装:平装
是否套装:否
国际标准书号ISBN:9787121402265
所属分类:
图书>考试>公务员考试>国家公务员考试
《计算光刻与版图优化》 集成电路技术丛书 韦亚一.pdf
商品详情
内容介绍
光刻是集成电路制造的核心技术,光刻工艺成本已经超出集成电路制造总成本的三分之一。在集成电路制造的诸多工艺单元中,只有光刻工艺可以在硅片上产生图形,从而完成器件和电路三维结构的制造。计算光刻被公认为是一种可以进一步提高光刻成像质量和工艺窗口的有效手段。基于光刻成像模型,计算光刻不仅可以对光源的照明方式做优化,对掩模上图形的形状和尺寸做修正,还可以从工艺难度的角度对设计版图提出修改意见,*终保证光刻工艺有足够的分辨率和工艺窗口。本书共7章,首先对集成电路设计与制造的流程做简要介绍, Continue reading